乙醇钽 CAS#: 6074-84-6

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乙醇钽

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中文名称	乙醇钽
中文同义词	五(乙氧基)钽;五乙氧化钽;乙醇钽(V), 光谱级, 99.95% (METALS BASIS);乙醇钽;乙氧基钽;乙醇钽(V);乙醇钽(V), 99+%;乙醇钽(V), OPTICAL GRADE, 99.95% (METALS BASIS)
英文名称	TANTALUM ETHOXIDE
英文同义词	ethanol,tantalum(5+)salt;TANTAL(V)-ETHOXID;TANTALUM PENTAETHOXIDE;TANTALUM(V) ETHOXIDE;TANTALUM ETHOXIDE;TANTALUM ETHYLATE;Tantalum(V) ethoxide, 99.98% metals basis;TANTALUM (V) ETHOXIDE (99.99+%-TA) SPECTRO
CAS号	6074-84-6
分子式	C10H25O5Ta
分子量	406.25
EINECS号	228-010-2
相关类别	试剂;合成材料中间体;化工原料;金属有机物;有机金属化合物;metal alkoxide;Catalysis  and  Inorganic  Chemistry;Chemical  Synthesis;Solution  Deposition  Precursors;Tantalum;TantalumMicro/Nanoelectronics;Vapor Deposition Precursors;73: Tantalum;CVD and ALD Precursors by Metal;CVD and ALD Precursors Packaged for Deposition Systems;Micro &Nanoelectronics;New Products for Materials Research and Engineering;Materials Science;Micro/NanoElectronics;bc0001
Mol文件	6074-84-6.mol
结构式

乙醇钽 性质

乙醇钽 用途与合成方法

用途

乙醇钽可以用于通过化学气相沉积(CVD)来沉积制备氧化钽或者金属钽涂层；乙醇钽水解然后加热也可以生成氧化钽粉末，可以生产高纯级氧化钽。美国使用乙醇钽为前驱体，生产出了高比面积的氧化钽薄膜。这种薄膜表现出良好的光学活性，在太阳能电池、光催化剂方面都有潜在的应用。乙醇钽可以通过等离子技术，生成超细的碳化钽粉体。乙醇钽在表面涂层的主要应用是制备氮化钽或者氧化钽。因为氮化钽及氧化钽具有较高的介电性和稳定性，其主要应用在电子元件的保护层及介电层。乙醇钽可以在电路板中生成具有高熔点和微晶粒的结构的氮化钽。这种氮化层结构在电路板中，可以使铜与硅或二氧化硅接触后的扩散得到抑制。另外，也有研究指出，氮化钽能够忍受比其它阻障金属更高的温度而不会退化，因此乙醇钽为前驱体的钽和氮化钽是较优越的铜制程阻障层。

制备

氯化物化合法生产乙醇钽是一种比较常用的方法，工艺比较成熟。氯化物对设备及工艺都有着比较高的要求。主要的原因是因为原材料五氯化钽及产品乙醇钽都容易和空气中的水汽反应。五氯化钽与乙醇反应时会放出大量的热量，原材料中的稀释剂及乙醇都是易燃易爆的液体，在中试或者生产中必须控制反应速度。五氯化钽与乙醇反应会产生高浓度的氯化氢，容易腐蚀设备。原材料中的稀释剂采用芳香烃，毒性较高。目前，正在相关单位正在研究以其它的低毒有机溶剂代替芳香烃的氯化合成过程。氯化法化合法主要特点是，合成速度快，设备投入小。由于原材料氯化钽与乙醇反应迅速并生成大量的热必须采用惰性的稀释剂控制反应速度。惰性稀释剂主要采用芳香烃，给操作人员健康和安全带来了一定的风险。含有芳香烃的废料难以处理。这种方法必须有充足五氯化钽原料和相关安环设备及措施保证。

应用

钽的醇盐主要是甲醇钽、乙醇钽、丙醇钽、丁醇钽及异丁醇钽。其中以乙醇钽的应用最为广泛。钽的醇盐可以溶解在大部分的有机物中，所以它是氧化钽的理想的前驱体。钽和钽的大部分化合物都比较稳定。金属钽与乙醇在通常条件下不发生反应。目前乙醇钽的合成方法主要有两种，一种是氯化物化合法；另一种是“牺牲”阳极法。

安全信息

MSDS信息

乙醇钽 价格(试剂级)

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