中文名: | 四甲基氢氧化铵溶液;氢氧化四甲 1.0M水溶液 |
中文别名: | 四甲基氢氧化铵溶液br显影液TMAH |
英文名称: | Tetramethylammonium hydroxide solution |
英文别名: | Tetramethylammonium hydroxide solutionbr |
CAS No.: | 75-59-2 |
分子式: | C4H13NO; (CH3)4N(OH) |
分子量: | 91.15 |
性状: | 无色至淡黄色液体,可溶 |
储存: | 2-8°C |
安全术语: | S26- S36/37/39 - S45- |
风险术语: | R20/21/22- R34- |
危险品标志: | C - |
危险品运输编号: | |
用途: | 在电子行业中,广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等 |