详细介绍
【仪器介绍】
SGC-10型薄膜测厚仪，适用于介质，半导体，薄膜滤光片和液晶等薄膜和涂层的厚度测量，是天津港东与美国new-span公司合作研制的，采用new-span公司先进的薄膜测厚技术，基于白光干涉的原理来测定薄膜的厚度和光学常数（折射率n，消光系数k）。通过分析薄膜表面的反射光和薄膜与基底界面的反射光相干形成的反射谱，用软件来拟合运算，得到单层或多层膜系各层的厚度d，折射率n，消光系数k。设备关键部件均为国外进口，也可根据客户需要整机进口。
【产品配置及参数】
编号 | 名称 | 规格 |
1 | 厚度范围 | 20nm-50um（只测膜厚），100nm-10um（同时测量膜厚和光学常数n，k）根据薄膜材料的种类，其范围有所不同。 |
2 | 准确度 | <1nm或<0.5% |
3 | 重复性 | 0.1nm |
4 | 波长范围 | 380nm-1000nm |
5 | 可测层数 | 1-4层 |
6 | 样品尺寸 | 样品镀膜区直径>1.2mm |
7 | 测量速度 | 5s-60s |
8 | 光斑直径 | 1.2mm-10mm可调 |
9 | 样品台 | 290mm*160mm |
10 | 光源 | 长寿命溴钨灯（2000h） |
11 | 光纤 | 纯石英宽光谱光纤 |
12 | 探测器 | 进口光纤光谱仪 |
13 | 电源 | AC100V-240V，50HZ-60HZ |
14 | 重量 | 18kg |
点赞 0 举报 收藏 0
买家评价
正在加载评价详情... 联系方式
|
