乙醇钽、6074-84-6 CAS查询、乙醇钽物化性质

 中文名称： 乙醇钽  

 中文别名： 五(乙氧基)钽;五乙氧化钽;乙醇钽(V), 光谱级, 99.95% (METALS BASIS);乙醇钽;乙氧基钽;乙醇钽(V);乙醇钽(V), 99+%;乙醇钽(V), OPTICAL GRADE, 99.95% (METALS BASIS)  

 英文名称： tantalum(5+) ethanolate  

 英文别名： ethanol,tantalum(5+)salt;TANTAL(V)-ETHOXID;TANTALUM PENTAETHOXIDE;TANTALUM(V) ETHOXIDE;TANTALUM ETHOXIDE;TANTALUM ETHYLATE;Tantalum(V) ethoxide, 99.98% metals basis;TANTALUM (V) ETHOXIDE (99.99+%-TA) SPECTRO  

 CAS号： 6074-84-6  

 EINECS号： 228-010-2  

 分子式： C10H25O5Ta  

 分子量： 406.25  

 InChI： InChI=1/5C2H6O.Ta/c5*1-2-3;/h5*3H,2H2,1H3;  

 分子结构：  

 密度： 1.566 g/mL at 25 °C(lit.)  

 熔点： -21 °C(lit.)  

 沸点： 155 °C0.01 mm Hg(lit.)  

 闪点： 87 °F  

 折射率： n20/D 1.487(lit.)  

 蒸汽压： -  

 物化性质： -  

 产品用途：

乙醇钽可以用于通过化学气相沉积(CVD)来沉积制备氧化钽或者金属钽涂层；乙醇钽水解然后加热也可以生成氧化钽粉末，可以生产高纯级氧化钽。美国使用乙醇钽为前驱体，生产出了高比面积的氧化钽薄膜。这种薄膜表现出良好的光学活性，在太阳能电池、光催化剂方面都有潜在的应用。乙醇钽可以通过等离子技术，生成超细的碳化钽粉体。乙醇钽在表面涂层的主要应用是制备氮化钽或者氧化钽。因为氮化钽及氧化钽具有较高的介电性和稳定性，其主要应用在电子元件的保护层及介电层。乙醇钽可以在电路板中生成具有高熔点和微晶粒的结构的氮化钽。这种氮化层结构在电路板中，可以使铜与硅或二氧化硅接触后的扩散得到抑制。另外，也有研究指出，氮化钽能够忍受比其它阻障金属更高的温度而不会退化，因此乙醇钽为前驱体的钽和氮化钽是较优越的铜制程阻障层。

 危险品标志：    

 风险术语： -  

 安全术语： 远离火源-禁止吸烟、如果接触眼睛，请立即用大量清水冲洗喝水并寻求医疗建议、穿戴合适的防护服、戴上合适的手套、佩戴眼部/面部防护用品、如果发生事故或感到不适，请就医立即提出建议（如有可能，展示标签）