中文名称: 六氟化钨
中文别名: 六氟化鎢;氟化钨;六氟化钨;氟化钨(VI);氟化物测定用标准溶液
英文名称: Tungsten(VI) fluoride
英文别名: Tungstenfluoride;TUNGSTEN HEXAFLUORIDE;TUNGSTEN(VI) FLUORIDE;(oc-6-11)-tungstenfluoride(wf6;Hexafluorotungsten;Tungsten fluoride (WF6);Tungsten fluoride (WF6), (OC-6-11)-;WF6
CAS号: 7783-82-6
EINECS号: 232-029-1
分子式: F6W
分子量: 297.83
InChI: -
分子结构:
密度: d15liq 3.441
熔点: -2.3 °C(lit.)
沸点: 17.5 °C(lit.)
闪点: -
折射率: -
蒸汽压: 10hPa at 20℃
物化性质: -
产品用途: 六氟化钨(WF6)是唯一能稳定存在的钨的氟化物,具有极强的腐蚀性,可根据外界环境的变化表现出灵活的物化性能,被广泛应用于工业生产的各个领域。六氟化钨在电子工业中主要作为集成电路的配线材料使用,其在经过化学气相沉积工艺后可形成金属钨导体膜,钨导体膜在集成电子学中通常被用作高传导性的互连金属、金属层间的通孔和垂直接触的接触孔以及铝和硅间的隔离层,因此被广泛应用于半导体集成领域;另外,六氟化钨还可以应用于太阳能吸收器以及 X 射线发射电极的制造、导电浆糊等电子元器原材料。
危险品标志:
风险术语: -
安全术语: 如果接触眼睛,请立即用大量清水冲洗喝水并寻求医疗建议、穿戴合适的防护服、戴上合适的手套、佩戴眼部/面部防护用品、如果发生事故或感到不适,请就医立即提出建议(如有可能,展示标签)