重现全尺寸晶圆抛光工艺条件,无需在生产设备上停机 提供无与伦比的测量可重复性和细节检测 允许在小样品上进行测试,比全晶圆测试节省大量成本
比市场上任何其他系统提供更多的瞬态抛光过程的参数 从接触抛光盘开始直至整个测试过程都能收集数据 通过更完整、更详细的数据实现早期流程开发决策
抛光任何平面材料,几乎能使用任何修正盘,任何抛光液,和任何抛光垫 轻松使用100mm以下的小尺寸晶圆 可同时安装多个样品,测试更灵活
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品牌: |
布鲁克 |
所在地: |
广东 东莞市 |
起订: |
≥1 PCS |
供货总量: |
未填 |
有效期至: |
长期有效 |
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