Delta-DUV反射式膜厚测试仪_测厚仪_物性测定_仪器设备_供应

产品详情

基本参数

品牌：	贝拓科学
所在地：	广东东莞市
起订：	≥1 PCS
供货总量：	未填
有效期至：	长期有效

详细说明

仪器介绍

Delta薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线。Delta根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm，可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜，还可以测量n和k值。

产品特点

快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高

应用案例

应用领域

半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS，SOI等）

LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)

LED(SiO2、光刻胶ITO等）

触摸屏(ITOARCoating反射/穿透率测试等)

汽车(防雾层、HardCoatingDLC等）

医学（聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等）

技术参数

型号

Delta-VIS

Delta-DUV

Delta-NIR

波长范围

380-1050nm

190-1100nm

900-1700nm

厚度范围

50nm-40um

1nm-30um

10um-3mm

准确度¹

2nm

1nm

10nm

精度

0.2nm

3nm

入射角

90°

样品材料

透明或半透明

测量模式

反射/透射

光斑尺寸²

2mm

是否能在线

是

扫描选择

XY可选

注：1.取决于材料0.4%或2nm之间取较大者。

2.可选微光斑附件。

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