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应用领域半导体(SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS,SOI等)
LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)
LED(SiO2、光刻胶ITO等)
触摸屏(ITOARCoating反射/穿透率测试等)
汽车(防雾层、HardCoatingDLC等)
医学(聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等)
技术参数
型号 TF200-VIS TF200-EXR TF200-DUV TF200-XNIR 波长范围 380-1050nm 380-1700nm 190-1100nm 900-1700nm
厚度范围 50nm-40um 50nm-300um 1nm-30um 10um-3mm
准确度12nm 2nm 1nm 10nm
精度0.2nm 0.2nm 0.2nm 3nm
入射角 90℃ 90℃ 90℃ 90℃
样品材料 透明或半透明 透明或半透明 透明或半透明 透明或半透明
测量模式 反射/透射 反射/透射 反射/透射 反射/透射
光斑尺寸22mm 2mm 2mm 2mm
是否能在线 是 是 是 是
扫描选择 XY可选 XY可选 XY可选 XY可选
注:1.取决于材料0.4%或2nm之间取较大者。
2.可选微光斑附件。