ngstyle="font-family:Arial,Verdana,Times;font-size:12px;white-space:normal;background-color:rgb(255,255,255);">简介薄膜测量系统TF-168是TF-166的改进系统，从顶部更容易进行光束对准。它具有非接触式光学测量功能，可测量各种多层光学薄膜和涂层的厚度，折射率和吸收率。ngstyle="font-family:Arial,Verdana,Times;font-size:12px;white-space:normal;background-color:rgb(255,255,255);">应用光学组件上的介电涂层，涂覆的滤光片，晶圆上的半导体制造，液晶器件，多层聚合物膜。薄膜层的示例： SiO 2，CaF 2，MgF 2，光致抗蚀剂，多晶硅，非晶硅，SiNx，TiO 2，溶胶凝胶，聚酰亚胺，聚合物膜。基材材料示例：硅，锗，GaAs，ZnS，ZnSe，丙烯酸，蓝宝石，玻璃，聚碳酸酯，聚合物，石英。
测量范围 20nm至50μm（仅厚度），100nm至10μm（厚度w/n＆k）可测层 upto4层
现货尺寸 可调0.8毫米至4毫米
样本量 从1毫米起
厚度精度 ±1nm或±0.5％中较大者
精确 0.2纳米
重复性 0.1纳米
平台尺寸 7英寸x7英寸或178毫米x178毫米
系统尺寸| 宽度8英寸，深度91/2英寸，高度14英寸 |
薄膜厚度测量系统一台薄膜测量主机（110V-240VAC），包括钨卤素灯光源和基于PC的带有USB接口的光学微型光谱仪。
光束传输，投射和接收光纤电缆和光学组件
新的Span薄膜测量软件5.1版
一块硅晶片作为反射率标准
配套硬件
PC要求：时钟>800MHz，RAM1GB，WindowsVista，7、8或Windows10。
单独使用包含的光源或光谱仪
主机包括一个钨卤素灯光源（360-2500nm）和一个基于PC的USB微型光谱仪（350-1000nm），每个均具有SMA905连接器。
通过将薄膜测量光纤与内部光源和光谱仪断开连接，可以将单独的光纤连接到光源和光谱仪，以促进其他照明或光谱测量应用。
ngstyle="font-family:Arial,Verdana,Times;font-size:12px;white-space:normal;background-color:rgb(255,255,255);">测量功能
基材折射率和吸收率评估
膜厚测量，均值和标准差
膜材料的折射率和吸收率评估
保存测量的光谱相关反射率数据
加载先前保存的反射率数据
测量结果统计
用户友好的光标控制显示测量结果
灵活选择计算波长范围
灵活选择厚度范围以大程度地减少计算时间
从随附的数据库中方便地选择薄膜和基材材料
用户定义的材料选择和导入。
VIP会员
400-6226-992
粤公网安备44196802000105号
