流量测量精度
满量程的±1%
流量控制再现性
满量程的±0.2%
流量测量的线性
满量程的±0.5%
稀释气的流量范围
0-10SLPM,
可选0-20SLPM,0-5SLPM
钢瓶气的流量范围
0-100cc/min
零气源要求
10SLPM℃30psi,
可选20SLPM@30psi
校准气体输入口
4
稀释气体输入口
1
反应时间
T
最高输出
6ppmLPM
最低输出
100ppbLPM
反应时间
T
量程
100ppb-10ppm
精度
1.0ppb
线性
读数的1.0%
升降时间
<20秒
响应时间
180秒
工作温度范围
5-40℃
湿度
0-95%RH,无冷凝
重量
27kg
尺寸
178mm*432mm*609mm
电源
100V,115V,220V,230V,24OV,
50HZ/60HZ
认证
CE