中文名称： 四氟化钛  

 中文别名： 四氟化钛(IV);氟化钛(IV) 25G;四氟化钛,99%;氟化钛(IV),98%;头孢呋辛酸(中间体);氟化钛(IV);头孢呋辛酸;四氟化钛  

 英文名称： Titanic fluoride  

 英文别名： VANADIUM-GALLIUM ALLOY;TiF4;Titanium fluoride (TiF4), (T-4)-;CEFUROXIME,FREE ACID;Titanic fluoride;Cefuroxin CP2000,BP98;Titanium(IV)fluoride,98%;Titanium(IV)fluoride99%  

 cas号： 7783-63-3  

 EINECS号： 232-017-6  

 分子式： F4Ti  

 分子量： 123.86  

 InChI： InChI=1/4FH.Ti/h4*1H;/q;;;;+4/p-4/rF4Ti/c1-5(2,3)4  

 分子结构：  

 密度： 2.798 g/mL at 25 °C (lit.)  

 熔点： ->400°C  

 沸点： 284°C  

 闪点： -  

 折射率： -  

 蒸汽压： -  

 物化性质： 四氟化钛为有吸湿性的白色粉末，相对密度2.798，熔点284℃，常压下284℃即升华。易溶于水并分解，不溶于乙醚。在100℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。  

 产品用途： 用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线。  

 危险品标志：  

 风险术语： -  

 安全术语： 如果接触眼睛，请立即用大量清水冲洗喝水并寻求医疗建议、立即脱下所有受污染的衣服、接触皮肤后，立即用大量…（由制造商规定）、穿戴合适的防护服、戴上合适的手套、佩戴眼部/面部防护用品、如果发生事故或感到不适，请就医立即提出建议（如有可能，展示标签）