国仪量子SEM5000场发射扫描电镜 应用锂电领域

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产品参数

二次电子图象分辨率	1 nm @ 15 kV 2.5 nm @ 1 kV	放大倍数	1 ~ 1,000,000 x
电子光学	光学导航	样品台	标配三轴自动，选配五轴自动
探测器	二次电子探测器 (ETD)，背散射电子探测器、能谱仪EDS等	背散射电子图像分辨率	优于3 nm
加速电压	0.1 kV ~ 30 kV

SEM5000能够满足绝大部分的用户需求，目前已积累了大量的客户案例。未来，国仪量子将继续提升产品实力，并推动扫描电镜向微纳表征、测量加工制造等综合性方向发展。

产品介绍

SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。

先进的镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快速上手，完

成高分辨率拍摄任务。

产品特点

分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像

电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品

高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证

电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力

水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性

磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换

应用领域

规格参数

电子光学系统

分辨率                1.0 nm @ 15 kV, SE

                          1.5 nm @ 1 kV, SE

                           0.8nm@30KV, STEM

放大倍率            1 x ～ 2,500,000 x

加速电压            20V ～ 30 kV

电子枪类型         肖特基场发射电子枪

探测器及拓展

标配                    镜筒内高角度电子探测器

                          侧向二次电子探测器

选配                    插入式背散射电子探测器

                          STEM自动插入式扫描透射探测器
                          样品交换仓
                         高速束闸和电子束曝光
                          EDS能谱仪
                          EBSD背散射衍射
                          EBIC电子束感生电流
                         CL阴极荧光
                          高低温原位拉伸台
                         纳米机械手
                         大图拼接

                         轨迹球 & 旋钮控制板

样品室

真空系统            全自动控制，无油真空系统

摄像头                双摄像头

                           ( 光学导航 + 样品仓内监控 )

样品台配置行程

                           X: 120 mm

                           Y: 115 mm

                           Z: 50mm

                           R: 360°

                           T: -10°～ +90°

软件

语言                    中文

操作系统              Windows

导航                    光学导航、手势快捷导航

自动功能             自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散

国仪量子SEM5000场发射扫描电镜 应用锂电领域,SEM5000

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途