激光共焦显微镜

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仪器简介：

●采用UV 激光光源，zei高分辨率可达120纳米

●聚焦zei小步进/zei大行程：10纳米(scale resolution of 0.005 mm)/100毫米 

●无须复杂的制样过程，样品无须镀膜导电处理，观察时无须真空，可放置重样品（10KG）

●激光安全等级：CLASS 2 

●图像感应装置：光电倍增管

技术参数：

1 测量
2D测量：zei佳测量范围1.5mm～1 μm；
不仅是线宽度，也能进行圆的直径等几何测量。
3D测量：zei佳测量范围1mm～0.5 μm；
体积、容积、表面积等3D测量；可测量透明膜厚度。
粗糙度分析：zei适合于Rz0.1 μm 程度的粗糙度分析；
不公是线粗糙度，面粗糙度也能检测。

2 3D形貌
能获得3D色彩等多种多样的信息
等高线显示、网格状显示等方式体现3D信息。
利用微分干涉可识别表面的更加细微的凹凸信息。

3 高分辨率观察
显示器倍率为14，400倍。接近SEM的放大率。
接近SEM的高对比度的解像度。
可以分辨常规显微镜所不能的0.12 μm 的LINE和SPACE
利用微分干涉进一步提高分辨率。
实时观察。
zei大观察范围是2，560X2，560μm

主要特点：

● 世界zei高的分辨率、高精度、XY分辨率可达0.12微米

●3D成像，高精度测量，Z轴zei小读数精度0.01微米。

●实时像的获得和测量同时。

●408nm激光采用

激光共焦显微镜,LEXT 3100

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途