CIF透射电镜样品杆清洗机
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CIF-TEM

CIF透射电镜（TEM）样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计，自动切换，一机多用，清洗快速GX。远程等离子体清洗快速GX低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途

产品特点

u 双等离子清洗源

u 一机多用

u 快速高效低损伤

技术参数

产品型号	CIF-TEM
等离子电源	13.56MHz等离子射频电源，射频功率5-150W可调
	远程等离子源，自动匹配器
清洗室	清洗室尺寸(长X宽X高)Φ150XH150mm
清洗数量	可同时清洗3支TEM样品杆
适配品牌	THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷欧路JEOL
气体控制	标配单路质量流量计（MFC）可选双路。50毫升/分，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响
气源选择	根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择
真空控制	质量流量计（MFC）美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计，测量范围1E-5Torr
真空保证	真空计和电磁阀安全互锁
操控方式	7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面
电源	220V，50/60Hz，300W
质量保证	二年质保，终身维护
真空泵	Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泵
	ZD入口压力1.0个大气压（0psig），ZD出口压力1.4个大气压（6.5psig）
	ZG抽速60L/min，JX真空3.3 x 10-1 mbar
	KF16入口接口