俄歇电子能谱分析器

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※ 主要应用于薄膜成分、半导体和金属中的氧化物分析、集 成电路污染 溅射层的表征、沉积层深度剖面等领域，并 实现各种材料催化、吸附、腐蚀及磨损等方面的研究。 

※ 紧凑型设计。 

※ 柱面镜分析仪的二阶聚焦提供了良好的传输和分辨率。 

※ 易于使用，USB通信接口便于数据获取和分析。 

※ 3kV 共轴电子枪，使用CeBix 灯丝，提供大电流密度，便 于信号分析。 

※ 反应离子刻蚀。